LINXON  LCMO25电容膜片真空计

技术参数

• 测量范围：满量程为 1 至 1000 托1。

• 精度：未明确指出，但具有高精度测量的特点，可满足一般工业和科研中的真空压力测量需求1。

• 稳定性：具有长期信号稳定性，能在长时间使用过程中保持测量结果的准确性和可靠性1。

• 响应速度：电源接通后可快速稳定，暴露于大气后能快速恢复测量，可快速准确地反映压力变化1。

特点

• 先进的数字电子设备：采用先进的数字电子技术，不仅提高了压力计的性能，还具备易于操作的特点，如一键调零功能，方便用户在使用过程中快速校准1。

• 耐腐蚀陶瓷传感器：其超纯陶瓷传感器具有耐腐蚀的特性，可延长传感器的使用寿命，同时提供了出色的零稳定性，即使经过数百万次的压力循环，包括暴露在大气中的突发情况，仍能保持良好的性能1。

• 传感器屏蔽：传感器屏蔽设计可以?；ぱ沽泼馐芄ひ瘴廴荆繁２饬康淖既沸院臀榷ㄐ裕蛊涫视糜诟髦指丛拥墓ひ祷肪?。

• 坚固的机械设计和数字电子技术：两者的结合提高了电磁兼容性、长期稳定性和温度补偿能力，使其在不同的工作环境和温度条件下都能稳定工作，减少了因环境因素导致的测量误差。

• 其他特点：具备宽范围电源，可适应多种电源输入；带有 RS232 接口，方便与其他设备进行数据传输和通信；符合无尘室使用标准，可在对清洁度要求较高的环境中使用1。

使用方法

1. 安装：根据实际应用场景和测量需求，选择合适的安装位置和连接方式，确保压力计与被测系统之间的连接紧密、无泄漏。通?？裳≡?KF 或 CF 等标准真空连接接口进行安装。

2. 连接电源和通信接口：将压力计的电源线连接到合适的电源上，确保电源电压符合压力计的要求。同时，如需要与外部设备进行通信，可将 RS232 接口与相应的设备连接好。

3. 校准：在使用或长时间使用后，可能需要进行校准?？墒褂靡阎曜佳沽Φ男Ｗ忌璞?，按照操作手册中的步骤进行校准，通?？赏ü患髁愎δ芎推渌Ｗ忌柚美吹髡沽频牟饬烤?。

4. 测量与数据记录：安装和校准完成后，打开电源，压力计将自动进行初始化和自检，待稳定后即可开始测量。在测量过程中，可根据需要定期记录测量数据，如需实时传输数据至其他设备进行分析和处理，可通过 RS232 接口实现。

应用场景

• 半导体制造：在半导体芯片制造过程中，对真空环境的精确控制和测量至关重要，如化学气相沉积、物理气相沉积、离子注入等工艺都需要高精度的压力测量，LINXON LCM 025 电容压力计可提供准确的压力测量数据，确保工艺的稳定性和产品质量。

• 真空镀膜：用于光学薄膜、电子薄膜等真空镀膜设备中，准确测量镀膜过程中的真空压力，有助于控制镀膜的厚度、均匀性和质量，提高镀膜产品的性能和可靠性。

• 科研实验：在物理、化学、材料等领域的科研实验中，常常需要对真空系统中的压力进行精确测量和控制，如在高真空实验、低温物理实验、表面科学研究等方面，该压力计可满足实验对真空压力测量的高精度要求。

• 工业真空设备：在各种工业真空设备中，如真空干燥设备、真空包装设备、真空冶炼设备等，可实时监测设备内部的真空压力，确保设备的正常运行和生产效率。