INFICON  BPG402-S B-A型皮拉尼复合真空计(大气压至超高真空真空计)

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×^10-10 mbar至大气压（3.8×^10-10 Torr 至大气压）。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。

这种 Bayard 热电离（双丝极）皮拉尼结合真空计 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列热电离皮拉尼发射器：

好处

• 从 5 x ^10-10 mbar 至大气气压（3.8 x ^{10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

• 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁

• 双长使用寿命氧化钇铱丝

• 备有可选的图形显示器和现场总线接口

• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

• 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

• 符合 RoHS 标准

新闻

• 新！ 现在提供 EtherCAT 数字接口！

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量

• 工业镀膜

• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制