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产品中心
详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
APC钟摆阀的应用
高科技制程后段压力控制和隔离阀
应用产业
>> SEMI - 半导体
>> FPD - 光电面板
>> CVD - 化学气相沉积
>> Solar - 太阳能
APC钟摆阀特点
集成整合压力控制
精确的压力控制
密实的隔离
反应时间快
友善简易操作使用接口
APC钟摆阀的规格
真空计电压 : 24V DC or ±15V DC
备用电源 : Yes
真空计输入
－ 真空计数量：2 pcs
－ 真空计数值: 线性 / 指数 t
－ 真空计输出电压：0-10V DC 线性压力
－ 输入电阻：Ri=21 k Ω
－ 分辨率：2.3 mV
－ 采样时间：1ms
控制精度：真空计大量程的 0.1%
仿真\通讯简易控制
位置分辨率：8000 (step 0-75° rotation)
环境温度: 70°C max(控制器可持续 -24HR)
APC 软件功能
使用APC软件可提供便利操作功能通过计算机控制
设置控制参数的调整: GAIN
压力和位置控制模式
附表测试模式=> 1 cycle schedule
设置阀打开/关闭速度
记录APC 硬件/软件版本, 序列号和型号
记录阀门循环和运行时间
设置公差范围的压力
循环寿命和压力控制记录
控制器参数上传和下载
断电保护功能
屏幕截图
控制和执行单元 | ||
输入电压 | +24 VDC(±10%) | 连接器: POWER |
功率消耗 | 150W(controller + motor) | 连接器: POWER |
真空计电源输出 | +24 VDC /+-15VDC， 500 mA | 连接器: SENSOR |
模拟输入 | ||
真空计数量 | 独立两频道 | 连接器: SENSOR |
输入电压 | 0-10V DC linear | 连接器: SENSOR |
分辨率 | 2.3 mV | 连接器: SENSOR |
输入电阻 | Ri=21kΩ | 连接器: SENSOR |
模拟输出 | ||
真空计数量 | 独立两频道 | 连接器: INTERFACE |
输出电压 | 0-10V DC linear | 连接器: INTERFACE |
数字输出/入 | ||
输入 | 独立两频道 | 连接器: INTERFACE |
输出 | 独立两频道 | 连接器: INTERFACE |
可接受工作温度 | ||
阀门本体 | 120 ℃ | |
控制器 | 70 ℃ | |
控压精度 | 0.1% of maximum sensor range | |
位置分辨率 | 8000 (step 0-90?rotation) | |
备用电源 | Yes | |
ISO 200 | ||
关闭时间 | <1.2sec | |
开启时间 | <1.2sec | |
阀门大扭拒 | 270kg-cm | |
ISO 250 | ||
关闭时间 | <1.2sec | |
开启时间 | <1.2sec | |
阀门大扭拒 | 880kg-cm | |
ISO 320 | ||
关闭时间 | <3.0sec | |
开启时间 | <3.0sec | |
阀门大扭拒 | 880kg-cm | |
规格数据 | ||||||
材质 | 本体 | A6061-T6 | ||||
阀板 | A6061-T6 | |||||
使用寿命 | 关闭/开启寿命 | 200,000 cycles | ||||
压力控制寿命 | 1,000,000 cycles | |||||
氦气泄漏率(一大气压压差) | 本体 | ＜1×10-9 mbar .l /sec | ||||
本体 | ＜1×10-5 mbar .l /sec | |||||
烘烤温度 | 本体 | ≤ 120 ℃ | ||||
驱动器 | ≤ 70 ℃ | |||||
控制盒 | ≤ 70 ℃ | |||||
压力范围 | 铝合金 | 1×10-8 mbar to 1.2 bar | ||||
铝合金 ,超硬阳极处理 | 1×10-6 mbar to 1.2 bar | |||||
大压差 | 1.2 bar | |||||
开启前压差 | ≤ 5 mbar | |||||
压缩空气压力 | 4 ~ 6 Kg/cm2 | |||||
开/关时间(秒) | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |||
1.2/1.2 | 1.2/1.2 | 2.0/2.0 | ||||
密封圈材质 | 阀板 | Viton O-ring | ||||
阀盖 | Viton O-ring | |||||
重量 | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |||
22Kg | 31Kg | 51Kg | ||||
驱动器 | 步进马达 | |||||
安裝位置 | 水平 / 垂直 | 水平 | ||||
选配 | A. 其他密封圈材质 | |||||
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