热烈祝贺中国台湾日扬Htc插板阀等超高真空阀门在MBE设备上批量使用！

超高真空闸阀-UHV gate valve的组成主要由三个组件组成分别为驱动器,阀车/阀门与阀体。Htc日扬真空(Htc Vacuum)

所提供的闸阀可分成应用于高真空与超高真空两大类, 用于超高真空系统使用的闸阀是属旋转式直线作动。藉手动或气动的

驱动阀杆来驱动真空阀门齿轮以达闸门之开阖功能。真空闸阀含有波纹管与无波纹管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS与CF法兰。

Htc日扬真空(Htc Vacuum)设计的所有系列真空闸阀适用于真空排气系统，超高真空应用的抽气系统，半导体技术，同步幅射中

心与学术研究系统等。

Htc日扬真空所提供的真空闸板阀又分为手动式与气动式挡板阀两种具的制造精度和稳定品质，因而可满足各种高真空与超高真空

的设备制程环境。这些真空闸阀还可配合与低温泵、分子泵或任何须要极度洁净高生命周期及低维护的制程。Htc日扬真空可提供

的各式接口法兰，如KF、ISO、ANSI、CF的真空闸阀。亦可提供特制规格真空闸板阀之制作。

真空闸阀阀体精密焊接制造, 受力均匀、密封可靠、结构紧凑、强度高的材料和使用真空环境要求, 达到高真空、超高真空、超洁

净、超长使用寿命。