MKS1179A质量流量计的技术参数：

 

1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。参数如下：

 

控制量程：2% to 的全量程。

测量精度：全量程的1%

灵 敏 度 ：全量程的0.1%

热机时间：小于2Min.

响应速度：小于2Sec.

输入电压：±15VDC@100ma

输出电压：0-5VDC

连 接 器 ：模拟： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

             数字：RS485或Device net或Profibus

法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材      质：316 不锈钢。

全 量 程 ：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。