2019年9月4-7日深圳会展中心 9G12展位英福康 INFICON特别邀请您参观CIOE中国光博会领略创新真空技术在镀膜行业中的应用

在光学行业，真空镀膜应用广泛，更的测量和精密的控制也已成了必需的要求。已在真空镀膜领域潜心钻研多年的英福康，不断投资新的技术和功能，还可为真空镀膜行业提供包括气体分析仪器、真空计、真空元件和氦气检漏仪等在内的完整产品系列和解决方案。

在本次光博会上，英福康也将携IC6 薄膜沉积控制器、Transpector® MPH 残余气体分析仪、LINXON®LX218 氦气和氢气检漏仪、真空计等一系列高精度，高性能的真空仪器设备，为参展观众们带来一场精彩的技术盛宴。

IC6 薄膜沉积控制器

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多*的功能，可帮助您实现沉积过程的大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s。IC6 具有其他石英晶体控制器*的性能、品质和功能，赋予您的过程的可重复性。

Transpector® CPM 3 紧凑型过程监控器

十多年来，INFICON Transpector® CPM 一直是半导体行业市场的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在，Transpector® CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件，达到业内的测量速度和灵敏度。Transpector® CPM 3 是新型和现有半导体过程（例如，ALD、CVD、PVD 和蚀刻）的理想 RGA 过程监控器。

2019年9月4-7日

深圳会展中心 9G12展位

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