1. 起动机械泵时，首先要保证转子运动方向正确，而且油位合乎要求。

2. 油封机械泵停止后，立即将机械泵入口通大气。因泵内真空会使泵油进入系统中。

3. 尽量不要用机械泵把高真空室直接抽至低于10Pa（0.1Torr）压强，否则机械泵的油蒸气会进入高真空室。因为在压强低于10Pa 时，会出现分子性气流，油分子将会返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下，则应当设置油分子捕集器。

4. 不应当使机械泵在大气压强下或者较高压强下连续长时间工作，否则电机会过热，而且泵会喷出油雾。

5. 在扩散泵（或油增压泵）通大气之前，应将泵油冷却到安全温度，防止高温下的泵油氧化。

6. 使用电离计时，应当在压强达到0.1 Pa 以下时再起动电离真空计，以防止电离计烧毁。

7. 高真空系统系统需要停止使用时，尽量将真空室及主泵在真空状态下封存，以缩短下一次使用时的抽气时间。

8. 系统冷却水压力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤，过低的压力会造成冷却水流通不畅，过高的压力会导致漏水或泵水隔套被压破等故障。泵内的油在添加时一定要使用1#真空油。