氦质谱检漏小可检漏率达5×10-12 Pa·m3/s，氦质谱检漏的使用，使板翅式换热器的检漏由定性考察变成了定量分析，对板翅式换热器的选用具有指导意义。

 

氦质谱检漏常用的操作方法

 

　　板式换热器的体积及换热面积较大，如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空，其不能满足检漏口真空度的要求，这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法，如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。

 

1、喷吹法

 

　　该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

 

2、钟罩法—测总漏率

 

　　将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。

 

3、吸入法—检测内漏

 

　　将被检工件的一个通道内充气设计压力值大小的氦气与氮气混合气，然后对与其相邻的通道抽真空并与仪器检漏口相连，如果存在内漏，另一通道内的氦气会进入抽真空的通道，终达到质谱管被检测。