在真空系统中，高真空插板阀用来切断或接通管路气流，按其结构原理可分为滚珠胀紧型与平行四边形运动机构撑开型。本文的研究对象ZBS-800 高真空插板阀为滚珠胀紧型，滚珠胀紧方式的高真空插板阀主要由阀体(阀壳、阀盖、密封圈)、阀板组件(胀紧滚珠、密封阀板、承压阀板、板簧、保持架、导向轮)、驱动部分(曲柄连杆机构、气缸、机械到位开关)等部件组成，具体结构原理图如图1 所示。

 

真空插板阀是一种双向密封阀，在正向或反向抽真空时，密封阀板两面形成0 至1 大气压压差，均能达到真空密封，压差作用在密封阀板上的力，无论压差方向如何，均自动增强O型胶圈的密封力。阀门开启时，驱动杆向后运动，滚珠进入阀板凹坑，板簧使两个阀板离开阀座，紧压在保持架两侧平面上，阀板随保持架移动。阀门关闭时，驱动杆向前移动，当阀板前进到位，顶块接触阀壳后，保持架继续移动，将滚珠推出凹坑，阀板压向阀座，达到真空密封，此时属于静态密封结构。