电容式薄膜规管的中间装着一张金属弹性膜片，在膜片的一侧装有一个固定电极，当膜片两侧的压差为零时，固定电极与膜片形成一个静态电容C₀，它与电容C₁串联后作为测量电桥的一条桥臂，电容C₂、C₃和C₄与C₅的串联电容组成其它三条桥臂。

    金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统（p_b<10^-3Pa）的参考压力室。在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门7。测量时，先将阀门7打开，用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力p_b。同时调节测量电桥电路，使之平衡，即指示仪表指零。然后，关闭阀门7，测量室接通被测真空系统。当被测压力P_l>P_b时，由于规管中的压力差p₁-p_b，膜片发生应变引起电容C₀改变，破坏了测量电桥电路的平衡，指示仪表上亦有相应的指示。调节直流补偿电源电压对电容C₀充电，使其静电力与压差相等，此时，电桥电路重新达到平衡，指示仪表又重新指零。根据补偿电压的大小，就能得出被测压力p₁，故有

    p₁-p_b=KU²          （12）

    式中p₁——被测压力

         p_b——参考压力

         U——补偿电压

         K——规管常数，其值K=Co/d₀,Co和d₀分别为固定电极与膜片在平衡状态下的静态电容和间距。

    当p₁》p₀时，测量结果就是压力，即

    p₁=KU²          （13）

     电容式薄膜真空计测量范围为10^-1～10¹Pa，其规管常数K可通过校准得到。

    近年来，电容式薄膜真空计取得了重大进展，新型的双电容式薄膜真空计的问世，提高了该类真空计的精度，扩展了测量范围，使其测量下限可达lO^-3Pa。

     单侧双电容薄膜真空计具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数*不受气体成分影响、反应速度快等特点。如将其规管参考室内加置消气剂并抽至≤lO^-5Pa，就可测量≥lO^-3pa的压力。