氦检漏仪如何摆脱水蒸气影响

近日，INFICON（英福康）重磅发布了UL3000Fab和UL6000移动式氦气检漏仪，它们集成了三大创新功能：

1、第二代智能抑零I-ZERO 2.0

2、本底检测I-Check

3、水汽抑制HYDRO-S

其中，HYDRO-S是一项研发的技术，用以摆脱水蒸气对本底值的影响，实现更快、更精准的检漏的创新功能！

HYDRO-S的英文全称是HYDROgen-Suppression，中文翻译为氢抑制。

被测试对象在抽空过程中，水蒸气会形成不必要的本底背景，该软件可以分离和清除来自水蒸气的背景值，有助于使检漏设备尽快达到低氦气本底背景水平，从而更快开始进行泄漏测试。

为了验证HYDRO-S的功能效果，我们做了一个对比测试，如下图：

图中的两根指示线分别代表了UL3000在启动HYDRO-S功能和未启动HYDRO-S功能时的泄漏测试信号，两个信号均连接到50升测试体积，并在该体积下，于4分钟后时同时连接有3.3 E-9 mbar l/s测试漏孔。

由图可见，HYDRO-S的优势显而易见：

泄漏测试开始，被测对象抽空过程中，开启HYDRO-S功能的UL3000在2.5分钟后就已达到了8x10E-10的本底背景氦信号，并将此本底值保持至第4分钟，而未开启HYDRO-S功能的UL3000由于水蒸气中的影响，信号曲线始终无法稳定且达到更低的本底背景水平。

在测试第4分钟，打开测试漏孔后，开启HYDRO-S功能的信号曲线很快就显示出了准确的泄漏值，并在第6分钟漏孔关闭后，返回到了本底背景。

而未开启HYDRO-S功能的UL3000在4分钟后未达到10E-10范围，打开的测试泄漏在下降的背景中消失，无法确定是否存在泄漏。

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