有关膜厚仪（晶控）的问答

1，膜厚仪（晶控）如何选型？

答：这个问题很复杂，以深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康膜厚仪为例：

如果仅仅需要监测厚度，可选用SQM-160，STM-2XM，STM-3，STM-2。如果既要检测，又要控制膜厚，可选用Cygnus 2，IC6，SQC-310，XTC/3，IQM-233。如果需要将膜厚的测控集成到自己的系统中去，可选用IQM-233。

如果在意精度，那么精度高的是Cygnus 2，其膜厚和速度分辨率达到±0.0043Å，其后依次为IC6，SQC-310，XTC/3，STM-2XM，STM-3，STM-2，IQM-233，SQM-160。

如果考虑源的数量，多的是IC6和Cygnus 2，都能达到6个，其余型号一般是2-1个。

如果考虑探头数量，多的是IC6和STM-3，都能达到8个，其次是Cygnus 2，达到6个。

如果考虑材料数量，多的是IC6，能达到32种，其次是XTC/3，达到9种，再次是Cygnus 2，达到6种。

如果考虑行业，OLED行业优先选择Cygnus 2，INFICON Modelock技术确保在非常低的速率下有好的稳定性；光学镀膜行业优先选择IC6，每个工艺200个膜层的容纳能力，使其更适合光学镀膜工艺，例如反射膜、带通滤光膜。AR膜等；教学科研行业可以优先选择XTC/3，具有能控制几乎任何膜层数量的能力；普通镀膜可以优先选择SQC-310，可连接2个探头，2个源输出,8个数字I/O; 共镀膜可以优先选择SQC-310C，可连接4个探头，4路PID控制输出，16个数字数字输入，16个继电器输出; 仅需要监测的行业优先选用SQM-160，STM-2XM，STM-3，STM-2。

2，两个测量通道跟连接两个探头是一回事？

答；可以这么理解。

3，SQC 310可连接两个探头，有两个源输出，所谓两个探头，是每一个探头都可以是双探头，或者是crystal 12那种探头？

答：可以这么理解。但crystal 12或crystalSix这样的探头每次只能有一个晶振片工作，其余的备用替补。

4，双探头一次只能用一个晶振片工作吗？

答：双探头有两种工作方式，一种类似crystal 12，每次只能有一个晶振片工作，另一种工作方式可以有两个晶振片工作，用来比较校准，但要配两个振荡包。

5，两个源输出是可以控制两台机器吗？

答：不可以，是可以控制同一个机器里两个蒸发源，蒸镀不同的材料。

6，IQM 233怎么使用？客户用什么样的语言来编程？？

答：它也需要配震荡包，探头等等，插在客户的电脑插槽里，将膜厚的监测和控制集成到客户自己的系统中去。理论上目前流行的控制类编程语言都能使用，具体情况可以咨询深圳市科锐诗汀科技有限公司的工程师。

7，探头的长度是固定的吗？

答：一般都需要订制，客户根据自己设备的情况，提供探头到法兰的长度参数，国外的工厂根据合同的参数加工。

8，正常探头是耐受400度高温，可烘烤探头是450度，好像区别不大？水冷是必须的吧？

答：不一样，正常探头是可以耐受环境温度达到400度，可烘烤探头可经受450度的持续烘烤。是否水冷根据设备的具体情况，一般都会采用水冷，正常探头水冷情况下是可以耐受环境温度达到400度，而无水冷情况下只能耐受130度，抽屉式探头稍高，可以耐受200度，溅射型探头甚至只能耐受105度。